Sistèm vakyòm yo enpoze egzijans inik sou tiyo yo, epi Valv nan sistèm vakyòm yo: Kalite, Pousantaj Leak ak Gid Seleksyon eksplike kalite, pousantaj koule, materyèl ak règ seleksyon ki aplike. Gid sa a kouvri rejim vakyòm yo, fanmi valv yo, sele a ak tès yo ki enpòtan.
Tiyo vakyòm sele kont flit anndan atmosferik.
Pousantaj koule yo eksprime an Pa.m3/s, jiska 10-9 pou tiyo UHV sele metal yo.
Kalite pòtay, ang, papiyon ak boul sèvi diferan plan vakyòm.
Yo mande sele metal pou kwit manje pou vakyòm ultra-segondè.
Tès fuit elyòm verifye pousantaj koule espesifye a.
Ki sa ki sèvis vakyòm mande pou yon valv
Nan sèvis vakyòm direksyon an koule se anndan: lè atmosferik koule nan sistèm nan atravè nenpòt defo, kontamine pwosesis la. Se poutèt sa, yon valv vakyòm dwe sele kont presyon atmosferik soti deyò, ki mande sele sere, materyèl ki ba degassing ak konstriksyon pwòp. Valv la pa dwe bloke volim ki vantilasyon tou dousman, epi li dwe siviv boulanjri kote sistèm lan mande li.
Rejim vakyòm ak devwa valv
Vakyòm ki graj (jiska apeprè 1 Pa), vakyòm segondè (a 10-4 Pa) ak vakyòm ultra-wo (anba a 10{-7 Pa) mete demann trè diferan sou valv la. Sistèm vakyòm ki graj ak segondè yo souvan itilize tiyo mou-sele; vakyòm ultra-segondè mande tiyo metal-sele, pou kwit manje ak degassaj ki ba anpil. Pousantaj koule ki nesesè yo ak tanperati bakeout defini konsepsyon valv la.
Kalite valv pou vakyòm
Tiyo pòtay yo se chwal travay la pou gwo ouvèti vakyòm, bay konduktivite konplè lè yo louvri; tiyo ang ak tiyo ang dwat-konfòm enstalasyon kontra; papiyon ak tiyo boul yo itilize nan pi ba devwa vakyòm. Pneumatic ak solenoid aksyon komen pou automatisation, ak manyèl oswa men -wou operasyon pou tiyo sèvis yo. Chak kalite disponib ak sele mou oswa metal.
Pousantaj Leak ak Fermeture
Pousantaj koule yo eksprime nan Pa.m3/s oswa mbar.l/s (ak istorikman atm.cc/s). Yon tipik tiyo vakyòm mou-sele kenbe yon pousantaj koule pi ba pase 10-6 Pa.m3/s, pandan y ap metal-sele valv pou UHV rive anba a 10-9 Pa.m3/s. So yo se O-bag nan FKM fluoroelastomer oswa lòt elastomè ki ba-outgassing pou vakyòm modere, ak kwiv oswa lòt sele metal pou sèvis UHV bakeable. Pousantaj la koule verifye pa tès flit elyòm.
Materyèl ak Bakeability
Tiyo vakyòm yo bati soti nan asye pur ak fini ki ba -degassaj, ak sele elastomè yo limite tanperati a bakeout: FKM fluoroelastomer pèmèt apeprè 150-200 degre C, pandan y ap metal-desen sele yo kwit nan 300 degre C ak pi wo pou UHV. Bride yo swiv ISO 1609 (KF/ISO-K), CF metal-sele bride pou UHV, ak modèl ANSI pou pi gwo gwosè. Materyèl la ak fini deside presyon an baz possible.
Règ seleksyon yo
Chwazi valv la pa rejim nan vakyòm, gwosè a twou, egzijans pousantaj la koule, bakeability a ak aksyon an. Endike konduktivite ki nesesè nan pozisyon ouvè a, to flit akseptab nan Pa.m3/s, estanda bride a, ak presyon sou bò atmosfè a. Pou vakyòm pwosesis, konpatibilite medya ak tanperati aplike tou.
Kesyon yo poze souvan
Pòtay, ang, papiyon ak tiyo boul ak sele mou oswa metal, chwazi pa rejim nan vakyòm ak pousantaj la koule obligatwa.
Tiyo mou-sele yo anjeneral kenbe pi ba pase 10-6 Pa.m3/s; tiyo UHV sele metal yo rive anba a 10-9 Pa.m3 / s, verifye pa tès elyòm koule.
Yon valv ki kenbe tèt ak chofaj jiska 150-300 degre C pandan sistèm boulanjri, ki mande sele metal ak materyèl ki ba-degase pou vakyòm ultra-segondè.
Yon valv pòtay louvri twou a plen pou konduktivite maksimòm; yon valv ang vire koule nan 90 degre ak kostim layouts kontra enfòmèl ant.
ISO 1609 KF ak ISO-K pou sèvis vakyòm, CF metal-sele bride pou UHV, ak ANSI bride pou pi gwo gwosè.
Pa deteksyon koule elyòm ak valv la fèmen anba vakyòm, mezire siyal elyòm nan kont pousantaj la koule espesifye.